Chế Tạo Cảm Biến Khí Cấu Trúc Dây Nano IN2O3 Trên Điện Cực Bằng Phương Pháp CVD

Abstract

Hiện nay các loại cảm biến khí thế hệ mới trên cơ sở vật liệu có cấu trúc nano với nhiều tính năng ưu việt đang thu hút được các nghiên cứu đặc biệt là các dây nano oxit bán dẫn như SnO2, ZnO, TiO2 và In2O3...Trong nghiên cứu này, chúng tôi đã chế tạo dây nano oxit indium đơn tinh thể (NW) trên điện cực cài răng lược Platin bằng phương pháp CVD.  Phân tích hình thái và cấu trúc của các dây nano In2O3 (NWs) bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) và nhiễu xạ tia X (XRD) cho thấy rằng các dây nano In2O3 là đơn tinh thể và có đường kính khoảng 100-200nm. Tính chất nhạy khí của cảm biến dây nano In2O3 đối với NO2 đã được tiến hành đo trong khoảng nhiệt độ từ 250 đến 450 °C.